WWW.REFERATCENTRAL.ORG.UA - Я ТУТ НАВЧАЮСЬ

... відкритий, безкоштовний архів рефератів, курсових, дипломних робіт

ГоловнаТехнічні науки → Дослідження процесу напилення металевого контакту методом магнетроного розпилення - Курсова робота

Дослідження процесу напилення металевого контакту методом магнетроного розпилення - Курсова робота

результати показують, що найбільш технологічним та відтворним є варіант технології напилення, при котрому напилення проводиться одночасно на 18 напівпровідникових елементів, завантажених на тримач купольно-го типу. Напилення відбувається за два етапи роботи електронопроміневої гармати тривалістю 8 та 6 хвилин. Таким чином, зберігається час безпечної роботи гармати (8 хвилин) без перегріву, і загальний час напилення достатньо для напилення мета-лізації алюмінію товщиною 20 мкм. Висота купола над тиглем електронопроміне-вій гармати 300 ± 5 мм в середній частині. Незважаючи на те, що при зниженні ви-соти купола над тиглем до 260 мм, швидкість осадження алюмінію збільшується,
також збільшується величина розкид між крайніми та центральними елементами. Такий варіант доступний тільки в тому випадку, коли напиляємих елементів не пе-ревищує шести, і вони розположенні по центру.
Оптимальна температура нагріву перед напиленням складає 2500 С. При великій температурі різко падає вакуум, а при меншій температурі - збільшується значення прямого падіння напруги.
Після напилення структури виймались з гнізд купола та провірялись на зов-нішній вигляд. Напилений шар алюмінію повинен бути рівний, білого кольору.
Досліджено вплив технологічних факторів на процес напилення алюмінієм на елементи напівпровідникові. З застосуванням отриманих результатів виго-товлена партія елементів без технологічних браків. Під час напилення не яких збоїв в роботі вакуумної установки не було. Виготовлені прилади показали висо-кий вихід придатного.
Після усіх необхідних дії та перевірок партія елементів напівпровідникових відправлена на впалювання.
Таблиця 6 - Аналіз результатів
№ партії
Назва параметру
1 2 3 4 5
Висота купола над тиглем, мм
260 260 300 300 320
Температура нагріву, Т0 С 200 250 200 250 250
Режим напилення
Квт/хвл. 10
7+6 8
8+8 10
8+6 10
8+6 10
8+8
Кількість одночас-но напиляємих елементів напівпровід-никових, шт. 18 18 18 18 18
Товщина напиленого алюмінію, h мкм
19,8±6,3 19,5±6 21±3,9 20,2±3,5 18,9±3,6
Напруга в провід-ному стані, Uf B 1,48±0,36 1,41±0,31 1,4±0,2 1,31±0,08 1,42±0,1
2.6 Обладнання дільниці напилення
Високовакуумна установка напилення типу В90.1 є сучасною та універсаль-нозастосованим устаткуванням для самих різних задач вакуумної техніки напи-лення. За допомогою цієї установки можливе проведення якісного напилення декількох елементів напівпровідникових одночасно. Ця універсальність устатку-вання досягається простотою основної конструкції, яку можна укомплектовувати на вибір богатим асортиментом допоміжних обладнань.
Установка складається з :
1) Вакуумної камери. Вона розташована вертикально і має діаметр на світлі, рівний 900мм. Передня чверть камери представляє собою дверцу, яка виготовлена із нержавіючої спеціальної сталі. На зовнішній стороні камери розташована система мідних труб для обігріву та охолодження по засобам води. Два змонтованих вікна з Ду 150 забезпечують в з'єднанні з освітленням камери добрий огляд вакуумної ка-мери в любий час. Для встроєння допоміжних обладнань та стандартних вводів є 18 фланцевих отворів та 4 фланцевих штуцера.
2) Несучої рами. Вона представляє собою стійку для вакуумної камери. На несучій рамі знаходиться підвід струму для випаровування на опорах. На цій рамі також знаходяться 4 розетки на 220 В ~ , та одна на 24 В ~ . Ці розетки потрібні для підключення додаткових керуючих та вимірюючих приладів.
3) Насосного агрегату.
Він оснащений такими насосами :
- пластичний насос : S = 150 м3 год-1 ;
- насос Рута : S = 1800 м3 год-1 ;
- насос маслодифузійний : S = 8000 л сек.-1 .
Усі вентилі обслуговуються за допомоги манометрів або магнітів. К насос-ному агрегату можна підключити другий маслодифузійний насос такої ж продук-тивності та низькотемпературну ловушку для рідкого азоту.
Процес відкачки виконується від розподільчої шафи. Керування ними відбу-вається в залежності від тиску і є повністю автоматичним.
4) Випарювача.У вакуумну камеру можна влаштувати декілька випарювачів, та експлуатувати їх як один за одним, так і одночасно. Два типа випарювачів з різним принципом дії стоять до услуг, випарювачі з нагрівом за рахунок опорів у формі однократного та багатократних випарювачів, а також електронопроміневі випарюючі обладнання різної потужності.
5) Розподільча шафа. Вона оснащена змінними блоками, в яких розташовані усі керуючи та вимірюючі елементи, а також елементи обслуговування, які необхідні для експлуатації установки. Встроєний витяжний вентилятор служить для відводу тепла.
Керування устаткуванням може здійснюватись на вибір, вручну або автома-тично в залежності від тиску.
Залежно від тиску, автоматичне керування включає в себе такі програми :
Пуск 1. програма запуску устаткування ;
Пуск 2. відкачення до встановлення готовності до напилення ;
Пуск 3. програма відключення установки.
6. Запобіжні заходи та блокування.
Схема устаткування зроблена та блокована таким чином, що помилкові дії неможливі. Вакуумна камера та несуча рама оснащені комутаційними контактами для відключення високої напруги та струму при відчиненні вакуумної камери.
Маслодифузійний насос та насос Рута запобігаються за допомоги контактних інструментів, з'єднаних з вакуумом, відносно їх тиску ввімкнення або моментів відчинення відповідних вентилів.
2.7 Вакуумна гігієна дільниці напилення
Ділянка напилення відноситься до першої категорії по виробничій чистоті.
Вимоги до повітря та характеру підтримання чистоти зведені в таблицях 8 та 9.
Таблиця 7 - Вимоги до повітря.
Найменування параметру Значення
Клас чистоти повітря
Максимальна кількість частинок в 1л повітря розміром
0,5 мкм 3
7500
Клас температури повітря
Температура повітря в приміщенні 2
22 ± 6
Клас вологості
Відносна вологість повітря в приміщенні 1
50 ± 10 %
Клас чистоти в робочій зоні
Максимальна кількість частинок пилу в 1л повітря
розміром 0,5 мкм 1
2800
Таблиця 8 - Характер та періодичність прибирання
Найменування параметру Значення
Вологе протирання полу Кожний день за 30 хвилин до початку зміни
Вологе протирання полу Кожен день в обідню
перерву
Внутрішня чистка трубопроводів та
повітреводів 1 раз на рік
Прибирання технічних поверхів 1 раз на місяць
Чистка магістральних трубопроводів 1 раз в 2 місяці
Миття стекол, дверей, світильників 1 раз на місяць
3 Організація та економіка виробництва
3.1 Розрахунок трудомісткості виготовлення і кількості робочих місць
Визначаємо програму запуску виробів Nзап; шт.
Nзап. = Nвип. /Кв.г. , (13)
де Nвип -
Loading...

 
 

Цікаве